顆粒收集及偵測器

1.粒徑量測範圍: 0.24 μm~11.7μm。
2.流量範圍: 30~100 L/min 。
3. 需經過NGI leak tester測試，leak rate < 6 kPa/min。
4. 層撞擊器每層孔洞數分別為 1, 6, 24, 52, 152, 396, 30及4032。